(一)项目概要
项目名称:半导体用高端材料综合生产项目
建设地点:江苏省南京市江北新区(浦口区)科盛路19号芯联智谷B区3AB楼一层
建设性质:扩建
建设内容:合理布局及利用江北新区科盛路19号芯联智谷B区3AB楼一层3000平的场地,扩建区域依托原有厂房预留空间,购置内衬反应釜、离心机等设备,建设85T/a功能湿电子化学品;购置沉淀反应釜、电加热煅烧炉等设备,建设90.4T/aCMP材料的半导体用高端材料生产线。建成后湿电子化学品总产能达85吨/年,CMP材料总产能达290.4吨/年。通过溶解、结晶、分离等工序生产功能湿电子化学品,年产85吨,产品纯度达到电子级标准(含量:≥99.99%:金属杂质≤0.5ppb、控制颗粒粒径≤0.5μm、颗粒数≤25个/mL),主要用于半导体晶圆制造过程中清洗、金属缓蚀等环节。通过沉淀合成、研磨、煅烧等工序生产CMP材料,年产290.4吨,产品纯度达到电子级标准(金属杂质≤0.5ppb、控制颗粒粒径≤0.5μm、颗粒数≤25个/mL),主要用于半导体晶圆制造抛光环节。
现有工程及其环境保护情况:现有项目年产50t纳米级氧化铈及150t微米级氧化铈,目前正在建设。现有项目沉淀合成废气通过二级水喷淋工艺处理后排放,煅烧废气达标排放,研磨筛分包装废气经捕集器收集后,再采用布袋除尘工艺处理;厂内喷淋废水和清洗废水进行回用,纯水制备产生的废水和生活污水统一接管至园区葛塘污水处理厂。固体废物全部综合利用或安全处置。
(二)建设单位名称和联系方式
建设单位名称:芯稀材料科技(南京)有限公司
联系人:雷琴
联系电话:13813359907
邮箱:qin.lei@chisce.com
(三)环境影响报告书编制单位名称
环境影响评价单位名称:江苏环保产业技术研究院股份公司
联系人:许工
联系电话:025-85699000
邮箱:a312712172@163.com
(四)公众意见表的网络链接
链接:https://pan.baidu.com/s/1M0aDfP5R48zUrq6cbdw_vA?pwd=iimf
提取码:iimf
(五)提交公众意见表的途径和方式
在环境影响报告书征求意见稿编制过程中,公众均可向建设单位提出与环境影响评价相关的意见。方式如下:
1、邮箱:qin.lei@chisce.com
2、邮寄地址:江苏省南京市江北新区(浦口区)科盛路19号芯联智谷B区3AB楼一层
芯稀材料科技(南京)有限公司
2026年8月6日
对于本项目如有意见和建议也可拨打江苏环保公众网服务电话:025-58527307,或将意见和建议发至邮箱hpgs@jshb.gov.cn,江苏环保公众网将会将您的意见收集整理后及时反馈环评单位和建设单位。